Product by Material
素材別製品
イオンインプラントソース
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- 用途
- イオン注入工程(Ion Implant)のイオン発生装置(Ion Source Head)に使用するW,Mo,Ta 材質の部品
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- 特徴
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- 純度の高い金属粉末を使い、 CIP処理等の焼結工程を経て生産した高品質の原材料を使用。
- 最新の加工設備でお客様の仕様に合わせたカスタマイズ対応
- タングステン、モリブデンなどの素材に対する長い経験と技術で価格競争力確保
イオンインプラントフィラメント
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- 用途
- 半導体の製造工程のソース、ドレーン箇所にイオンを注入させてダイオードの特性を作るイオンインプラント工程においてイオンビームを発生させるフィラメント。
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- 特徴
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- 高純度のタングステンの材料使用及び精密な寸法管理。
- 熱処理加工で長寿命を維持 。